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牢牢控制EUV光刻技术 日本砸万亿日元国产化JSR公司

快科技6月27日,EUV光刻当前是半导体工艺中最先进的技术,7nm以下工艺都离不开,日本近年来也希望重新掌握先进工艺,不仅成立了Rapidus公司研发2nm工艺,日前更是突然收购了JSR公司,后者是全球少数能产EUV光刻胶的公司。

JSR(日本合成橡胶公司)原本是私营公司,在日本股市上市,日本政府支持的投资公司JIC宣布斥资万亿日元,约合500亿人民币收购JSR,完成之后JSR计划在2024年从东京证交所摘牌退市。

虽然退市的目的说是进一步投资及重组,但JSR此后显然会从私营公司变成日本国有背景,日本官方一步步掌控半导体核心技术。

JSR公司成立于1957年,1979年进入了半导体光刻胶领域,是日本乃至全球几大主要的光刻胶供应商之一,与住友化学、信越化学、东京应化并列,ArF光刻胶领域份额第一,EUV光刻胶也是主力供应商之一。

此外,Rapidus公司日前也跟ASML公司达成了合作,将引入EUV光刻机,最快2025年试产2nm工艺,该公司虽然也是丰田、索尼等8家企业联合成立,但是研发到生产都需要日本巨额补贴,不是国有胜似国有。

在解决了EUV光刻机及EUV光刻胶之后,日本掌握2nm等先进工艺的雄心又近了一步。

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